mems加速度传感器

基于-MEMS-制造技术，芯片集成惯性检测质量块、信号检测光学腔体及弹性支撑元件（抗扭转敏感梁）。弹性支撑结构对振动或者声波敏感产生位移，引发腔内光学干涉效应，通过光纤传输至传感分析仪。系统通过光源激励、输出光谱及物理量转换，实时输出监测点的数字加速度信号，实现微型化、集成化的光学加速度振动或超声测量。